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低溫耦合等離子刻蝕機(jī)

免費(fèi)樣品檢驗(yàn) 48小時(shí)發(fā)貨 工廠直銷
300萬-1000萬

產(chǎn)品規(guī)格:低溫刻蝕、平板三螺旋天線PTSA、高選擇比

公司所在地:重慶

產(chǎn)品庫存:現(xiàn)貨及定制

可供貨地區(qū):全國

其他說明:

刻蝕機(jī)可在-100°C左右的低溫下實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕。采用連續(xù)的SF6/O2刻蝕工藝,在側(cè)壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側(cè)壁,在光學(xué)應(yīng)用上非常重要。同時(shí)刻蝕工藝的高刻蝕速率可實(shí)現(xiàn)刻樣傳片。

展開

刻蝕機(jī)可在-100°C左右的低溫下實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕。采用連續(xù)的SF6/O2刻蝕工藝,在側(cè)壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側(cè)壁,在光學(xué)應(yīng)用上非常重要。同時(shí)刻蝕工藝的高刻蝕速率可實(shí)現(xiàn)刻樣傳片。收起

品牌:
SENTECH
型號:
SI 500、SI 500C等
功能:
刻蝕后形成光滑側(cè)壁,在光學(xué)應(yīng)用中非常重要
用途范圍:
可在-100℃左右低溫下實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕
重慶眺...
重慶眺望科技有限公司
聯(lián)系人:眺望科技
主營業(yè)務(wù):美國AJA磁控濺射,離子刻蝕、電子束蒸發(fā)等PVD設(shè)備,先進(jìn)電鍍設(shè)備,ICP,PECVD,ALD,RIE等離子體工藝設(shè)備等,美國Film Sense多波長橢偏儀,ATL激光器以及徠卡LEICA光學(xué)顯微鏡
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